《微纳电子技术》杂志由中国电子科技集团公司主管,中国电子科技集团公司第十三研究所主办的学术性期刊。自创刊以来,杂志始终立足无线电电子学科技前沿聚焦国内外无线电电子学发展动态,致力于打造集学术研究、技术交流与行业资讯于一体的高端传播平台。
《微纳电子技术》栏目主要设置有技术论坛、材料与结构、MEMS与传感器、加工、测量与设备等多个栏目。杂志选题新颖,视角前瞻,既关注基础理论研究,也重视应用成果,兼顾学术深度与传播广度,具有信息量大、时效性强、实用性突出的特点,荣获 "Caj-cd规范获奖期刊、中国优秀期刊遴选数据库、中国期刊全文数据库(CJFD)、中国学术期刊(光盘版)全文收录期刊、中国科技期刊优秀期刊" 等荣誉。
一种基于超材料的常温太赫兹探测器
关键词:太赫兹探测器 超材料 电学读取 绝热结构 太赫兹时域光谱仪(THz TDS)
旋转电场驱动纳米金属线运动研究
关键词:旋转电场 电导率 转速 电偶矩 极化率
Si(110)衬底上Ⅲ族氮化物薄膜的研究进展
关键词:Si(110)衬底 氮化物薄膜 外延生长 显微组织结构 发光二极管(LED)
基于微硅热丝的热流式加速度传感器
关键词:微硅热丝 热流式 硅热阻效应 加速度传感器 微纳加工技术
Ni掺杂ZnO纳米线湿度传感器的制备与性能
关键词:湿度传感器 ZNO纳米线 Ni掺杂 介电泳 传感特性
MEMS器件中微气泡执行器气泡动力学研究
关键词:微电子机械系统(MEMS) 微气泡执行器 微通道 气泡动力学 可控参数
基于RBF神经网络的MEMS陀螺温度漂移补偿
关键词:微电子机械系统(MEMS) 陀螺仪 温度漂移 非线性 径向基函数(RBF)神经网络
基于栅格样版正交方向扫描的精准测量
关键词:栅格标准样版 图像畸变 正交扫描方向角 误差修正方法 纳米测量系统
微流控静态液滴阵列芯片制备非球形微粒
关键词:微流控芯片 静态液滴阵列(SDA) 毛细阀 表面张力 非球形微粒
双氧水稳定剂对碱性铜膜抛光液稳定性的影响
关键词:铜 化学机械抛光(CMP) 双氧水 稳定剂 去除速率